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G10.5 Array Repair

G10.5 Array Repair

设备技术核心


-  高精度激光控制技术

-  自动维修技术

-  FSM技术

-  CVD Alloy合金技术 (科韵专利)

-  Ag/PR INK技术

-  低成本1μm Cut技术


设备应用场景

- 显示面板行业阵列制程金属线路断路维修

- 显示面板行业阵列制程金属线路残留维修

- 显示面板行业阵列制程光刻残胶残留维修

- 应用于G10.5代线  玻璃基板尺寸3370×2940mm


产品G10.5 Array Repair
Array:2Cycle:AG Line Inkjet Process  =>2Cycle +线宽(7um)+膜厚(>1500A)
Inline Ink 140s
Final Ink200s
Array CUT1点 42s
Array CVD:

Line CVD Processing=>2cycel+线宽(5um)+厚度(>2000A)120s 126s


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